MLI シリーズ

ロングガスライフ 小型エキシマレーザー

産業用途に対応したの高い信頼性(MLI-LCシリーズ)。圧倒的に長くなったガス寿命。操作性に優れたオペレーティングソフトウエア。

商品コード: mliexcimerlaser 商品カテゴリー: , 商品タグ:

説明

小型エキシマレーザーMLIシリーズは、研究開発から試作/小中規模生産ライン用に設計された新世代のコンパクトな高繰り返し空冷エキシマレーザーです。圧倒的に長くなったガス寿命によりガス交換の頻度が大幅に減少しました。高い信頼性の固体スイッチ回路と共に安定した運転を可能とします。また大型のエキシマレーザーよりも短い5~10nsのパルス幅で高品質なアブレーション加工を行うことができます。

MLI-200/500/1000 エキシマレーザー

ParameterArF

ArFArFKrF

KrF

KrF

Wavelength (nm)

193193193248248248
Pulse repetition frequency (Hz)

20050010002005001000
Stabilised pulse energy (mJ)

666101010
Stabilised average power (W)

1,23,06,02,05,010
Pulse stability (standard deviation %)

222222
Beam width (FWHM, VxHmm)

6×36×36×36×36×36×3
Beam divergence (FWHM, VxHmm)2×12×12×12×12×12×1
Pulse length

5-105-105-105-155-155-15

MLI-500/1000 エキシマレーザーLC

Parameter

ArF

ArF

ArF

KrF
Wavelength (nm)

193193248248
Pulse repetition frequency (Hz)

50010005001000
Stabilised pulse energy (mJ)661010
Stabilised average power (W)

3,06,05,010
Pulse stability (standard deviation %)

2222
Beam width (FWHM, VxHmm)

6×36×36×36×3
Beam divergence (FWHM, VxHmm)

2×12×12×12×1
Pulse length

5-105-105-155-15