UV Kub 3

UV-LED マスクアライナーシステム

UV-KUB3はアライナー機能を搭載したコンパクトで低価格なUV-LED照射装置です。波長は365nm、385nm、405nmから選択することが可能。 ウオーミングアップを必要とせずに10,000時間の長寿命LEDによってΦ4インチまでの基盤または100 x 100mmエリアに全面照射できます。 発散角を2度以下に抑えたコリメート光により、最小露光サイズは2μmを達成。 研究開発部門等において、手軽に省スペースでご利用頂けます。

説明

UV-KUB3はアライナー機能を搭載したコンパクトで低価格なUV-LED照射装置です。波長は365nm、385nm、405nmから選択することが可能。 ウオーミングアップを必要とせずに10,000時間の長寿命LEDによってΦ4インチまでの基盤または100 x 100mmエリアに全面照射できます。 発散角を2度以下に抑えたコリメート光により、最小露光サイズは2μmを達成。 研究開発部門等において、手軽に省スペースでご利用頂けます。

特長

  • 完全な単色光(線幅10nm以下)でウエハー全面露光
  • コールドUV照射と照射表面のリアルタイム温度制御
  • 実使用時間10,000時間を超える長寿命LED
  • タッチパネル操作による簡単な照射設定(連続/パルス照射等)
  • ウオーミングアップ時間不要
  • ジョイスティックと高解像度タッチパネルによる位置合わせ
  • 完全な閉空間UV照射でユーザーの安全を保障
  • ウエハーの自動ロードアンドロードシステム
  • 低消費電力

 

写真

仕様

最小露光寸法2μm
波長365nm
アライメント解像度5μm
照度30mW/cm2±10%
熱影響温度<1°
連続照射時間1秒~18時間
サイクル記録数10
タッチパネルサイズ15.6インチ(39.6cm)
本体サイズ480 x 480 x 480mm
装置重量55kg

追加情報

重さ55 kg
サイズ48 × 48 × 48 cm