ProMasterは、R&D分野での使用を目的とした低スループットで手頃な価格のエントリーモデルの卓上型エキシマレーザー加工装置です。
ProMasterは、深紫外波長(193nm、248nm、308nm)で短いパルス幅(〜6ns)の高いピークパワーを備えたコンパクトなエキシマレーザーを搭載しています。レーザーエネルギーを効率的に加工対象を伝える事により、精密切断が可能になり、熱影響、デブリを最小限に抑えながら、ミクロンスケールまで正確に微細加工できます。
ProMasterは、フォトリソグラフィーで使用される技術であるマスクプロジェクションを使用して、ポリマー、ガラス、生体吸収性材料、およびその他の材料の細かい加工やパターンをアブレーションします。
ソフトウェア
制御ソフトはオプテック社独自のレーザー加工制御ソフトProcessPowerを使用しております。
CADファイル変換機能、CADデータに基づいて加工
特長
- X,Y,Z 軸モーター駆動
- XY 駆動範囲 100x100mm
- 分解能 1μm
- 固定倍率10倍
- モチーフモーター選択
- 最大エネルギー密度 5J/cm2
- レンズ (TTL) vision
- 簡単ソフトウエア
- CAD対応
- 卓上型 エキシマレーザー @248nm
用途
- 様々なポリマー、ガラス、セラミックの切削
- 微細 穴開け / 溝掘り
- マイクロ流体
- 薄膜除去
オプション
- 193nmエキシマレーザー
- ワイドビジョン
- マニュアルシータステージ
- モーター駆動 Z 軸
- モーター駆動アッテネーター
構成
- 波長: 193nm もしくは 248nm
- エネルギー密度: 0.05〜5J/cm2
- 繰り返し周波数: 200Hz
- 加工サイズ: 5µ〜250µm
- 分解能: <1.5µm
- 焦点範囲: 20mm
- DMG比率: 10X
- アッテネーション範囲: 2〜100%
位置決め
- 駆動範囲: 100x100mm
- 位置決め精度: 1µm
- 繰り返し精度: 2µm
- 絶対精度: <2µm (DMC校正)
観察機構
- 2色カメラ (オプションで高FOV )
- TTL ビジョン
- 同軸ライト