Dilase125
- 露光装置
- 直描露光
Dilase125
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- 直描露光
レーザー直描露光装置 Dilase250は、Dilaseシリーズのエントリーモデルとして開発されたコンパクトな卓上型レーザー直描露光装置です。375nmまたは405nmのUVレーザーを搭載し、4インチまでの基板サイズに対応します。2μmの最小スポット径と50mm/sのスキャン速度で微細なパターン露光を行う事ができます。
- 用途:バイオテクノロジー, フォトリソグラフィー, 半導体