Dilase250
- 露光装置
- 直描露光
- Kloe
Dilase250
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レーザー直描露光装置 Dilase250は、Dilaseシリーズのエントリーモデルとして開発されたコンパクトな卓上型レーザー直描露光装置です。375nmまたは405nmのUVレーザーを搭載し、4インチまでの基板サイズに対応します。2μmの最小スポット径と50ｍｍ/sのスキャン速度で微細なパターン露光を行う事ができます。
- 用途：バイオテクノロジー, フォトリソグラフィー, 半導体
- メーカー：クロエ
コンパクトな卓上型モデル
Dilase250は、Dilaseシリーズのエントリーモデルとして開発されたコンパクトな卓上型レーザー直描露光装置です。375nmまたは405nmのUVレーザーを搭載し、4インチまでの基板サイズに対応します。2μmの最小スポット径と50mm/sのスキャン速度で微細なパターン露光を行う事ができます。