Dilase650
- 露光装置
- 直描露光
- Kloe
Dilase650
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高機能ミドルモデル Dilase650は、Dilaseシリーズのミドルモデルとして開発されたコンパクトなレーザー直描露光装置です。375nmまたは405nmのUVレーザーを搭載し、6インチまでの基板サイズに対応します。最小ビームスポット径1μmとスキャン速度500mm/sで、微細なパターン露光をより短時間で行う事ができます。
- 用途：バイオテクノロジー, フォトリソグラフィー, 半導体
- メーカー：クロエ