３つのアプローチによるガス長寿命化でランニングコストの低減を実現

1.ベッセル材質改善
ベッセル材質の改善により、ガスの不純物の発生を低減。

2.ガスプロセッサー搭載
内蔵された触媒カートリッジによってガス内に発生する不純物を除去。液体窒素不要。

3.ハロゲンインジェクション
ガス劣化時に微量のハロゲンをブースト注入し、出力安定性を維持。これよりガスを延命化し交換頻度を抑制。

ゲートバルブが光学ポートに装備されているため、バルブを閉止したまま共振器のメンテナンスが可能。
メンテナンス毎のガス交換やパージが不要となり、ガスの使用量を抑えメンテナンス時間も大幅削減。コスト抑制に寄与。