600㎜をきるコンパクトな筐体設計により省スペース化を実現。
コロナ予備放電により出力の安定性も大幅に向上し、小さな筐体ながら高い信頼性を誇ります。

腐食原因となる樹脂やゴム製部品を使用しない特殊なオールメタルチューブを採用することで、腐食が引き起こすガス品質の劣化を大幅低減、ガスの長寿命化を実現。
さらに固体スイッチ電源によりガス劣化原因となるウォームアップが要らず、立ち上げ後すぐに発振が可能、ガスの劣化要因も抑えます。
これらにより従来エキシマレーザーにおいては高額とされてきたランニングコストを大幅に下げることに成功しました。

一般的にポリマー類は紫外線領域の光の吸収性が良い傾向にあります。
エキシマレーザーのビーム光はこの領域にある為、ポリマーをはじめ有機加工物に対し極めて加工性がよく、高い加工品質が得られます。