PCシリーズ

プローブカード加工装置

破片やバリがなく、テーパー2μm以下(厚さ700μm以内)
厚さ1mm、0.5mm範囲の小さい加工も可能
±10μmの深さ精度と±2μmの平坦度を実現

問い合わせ

PCD-1000

長方形を含む様々な形の穴加工に特化

仕様

材料窒化ケイ素
ワークサイズ200mm × 200mm
(300mm×300mmも対応可能)
ワークサイズ±2.5μm@50mm
±5μm@100mm
厚さ125μm-500μm
穴径>30μm×30μm
 
 

PCM-1000

ポケット加工、溝彫り、ザグリに特化

仕様

材料窒化ケイ素
ワークサイズ200mm × 200mm
(300mm×300mmも可)
精度±5μm@50mm
±10μm@100mm
厚さ>0.5mm
溝の深さ>700μm

PCR-1000

外観切断、溝彫り、ネジ穴加工に特化

仕様

材料窒化ケイ素
ワークサイズ200mm × 200mm
(300mm×300mmも可)
精度±5μm@50mm ±10μm@100mm
厚さ>1mm

PCD-1100

長方形、円形の穴加工に特化

仕様

材料窒化ケイ素
生産能力>300,000穴/月@t250μm
>200,000穴/月@t500μm
アスペクト比~10
厚さ<700μm
穴径>25μm@t300μm
ピッチ~10μm@40μm