超小型LED露光装置UV-KUBシリーズ
UV-KUB(キューブ)は、コンパクトで低価格なUV-LED露光装置です。ウォーミングアップを必要とせずに10000時間の長寿命LEDによってΦ4インチまでの基板に全面露光できます。オプティクス、バイオテクノロジー、マイクロマシン、1-2枚マスクレベルのフォトリソグラフィー、ウエハーボンディングなど幅広い分野の研究開発に利用されています。
写真
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仕様
| 露光波長 | 365±5nm/405±5nm |
| 照度 | 40mW/cm² ±10% |
| 熱影響温度 | 1°C以下 |
| 連続照射時間 | 18時間 |
| サイクル記録回数 | 10 |
| サイズ | 260 x 260 x 260mm |
| 重さ | 8.2 kg |
| 試料厚み(前面照射時) | ウエハ+レジストの最大厚み 11mmまで |
| 試料厚み(マスク照射時) | ウエハ+レジストの最大厚み 2mmまで |
| 発散角 | 2°以下 |
| マスクサイズ(マスクホルダー使用時) | 125~127.3mm |
| 試料サイズ | 100 x 100 mmまで |
| ※上記仕様は全ての項目における最適値の仕様です。 ユーザーのご要望に合わせたカスタム仕様で提案をさせて頂きます。 ご希望の仕様を弊社営業部までお知らせください。 |
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