UV-KUB3はアライナー機能を搭載したコンパクトで低価格なUV-LED照射装置です。波長は365nm、385nm、405nmから選択することが可能。 ウオーミングアップを必要とせずに10,000時間の長寿命LEDによってΦ4インチまでの基盤または100 x 100mmエリアに全面照射できます。 発散角を2度以下に抑えたコリメート光により、最小露光サイズは2μmを達成。 研究開発部門等において、手軽に省スペースでご利用頂けます。
特長
- 完全な単色光(線幅10nm以下)でウエハー全面露光
- コールドUV照射と照射表面のリアルタイム温度制御
- 実使用時間10,000時間を超える長寿命LED
- タッチパネル操作による簡単な照射設定(連続/パルス照射等)
- ウオーミングアップ時間不要
- ジョイスティックと高解像度タッチパネルによる位置合わせ
- 完全な閉空間UV照射でユーザーの安全を保障
- ウエハーの自動ロードアンドロードシステム
- 低消費電力
写真
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仕様
| 最小露光寸法 | 2μm |
|---|---|
| 波長 | 365nm |
| アライメント解像度 | 5μm |
| 照度 | 30mW/cm2±10% |
| 熱影響温度 | <1° |
| 連続照射時間 | 1秒~18時間 |
| サイクル記録数 | 10 |
| タッチパネルサイズ | 15.6インチ(39.6cm) |
| 本体サイズ | 480 x 480 x 480mm |
| 装置重量 | 55kg |