特長
アプリケーション | 各種極細線、ピン等に対応 カテーテル微細加工、薄膜除去 マイクロ流路加工、電極パターニング その他各種微細加工 |
---|---|
小型エキシマレーザー搭載 | 紫外波長(193nm/248nm)を使用し、熱影響のない加工 ArF : 波長193nm、出力1.2〜6W、6mJ、200Hz〜1kHz KrF : 波長248nm、出力2〜16W、10〜16mJ、200Hz〜1kHz |
カスタム対応 | リールtoリール、XYステージ、回転機構など、 加工サイズ:最小<5μm |
仕様 | 加工対象:樹脂材料、金属薄膜、ガラス材など 用途に合わせてカスタマイズが可能 |
装置構成 | 投影倍率(5〜10倍、固定) レンズ解像度 1.5μm 水平駆動マスクチェンジャー XYステージもしくは回転機構など 試料面モニター 小型エキシマレーザー発振器(193nm/248nm) |