• PLD

    TSST社製PLD

     TSST

    パルスレーザーアブレーション製膜装置

    レーザー光を数回ターゲットに照射、 物質をアブレーションさせて対向位置に配置された基板に 材料を堆積させ薄膜を生成する超高真空PLDシステム装置。

    続きを読む

  • テーブルトップEUV

     EUV/軟X線

    軟X線照射装置

    YAGレーザー(1064nm,750mJ,6ns)を用い、使用するガスにより2~20nmの波長を発生 レジスト材料の開発やマスク及び光学部品の検査・評価用としても必要とされるツール ウォーターウィンドウ領域での生物試料の高分解能観察用、物質相互作用の基礎研究用途

    続きを読む