OptecのLightBenchは、費用対効果の高いレーザービーム供給ユニットであり、高品質の微細加工を実現するための簡単な方法です。 LightBenchは、レーザー光線を光源からワークにある対象に向けて調整し、ミクロン(µm)レベルの精度を実現します。
主要なビーム供給デバイスをサポートする理想的なプラットフォームであるエネルギーコントローラー、ビームシェーパー、レンズ、マスクユニット、ビジョンシステムなどが、アプリケーションに合わせて構成されています。
ソフトウェア
制御ソフトはオプテック社独自のレーザー加工制御ソフトProcessPowerを使用しております。
CADファイル変換機能、CADデータに基づいて加工
特長
- モーター駆動 X,Y,Z 軸
- XY 駆動範囲 200x200mm
- 分解能 1µm
- 調整可能な縮小倍率 X5〜X15
- モチーフモーター選択
- 最大エネルギー密度 10J/cm2
- 小型エキシマレーザー (248nm もしくは 193nm)
- TTL Vision (WYSIWYG)
- ソフトウエアProcessPower
- OptecCAD対応
用途
- レーザーリフトオフ(LLO)
- 選択薄膜除去
- 様々なポリマー、ガラス、セラミックの切削、穴あけ
- 微細 穴開け / 溝掘り
- マイクロ流体
- 3D 構造加工
- 医療部品穴あけ
- 電子機器/センサーのトリミング
仕様
構成
- レーザー波長: 193nm もしくは 248nm
- エネルギー密度: 0.05〜10J/cm2
- 繰り返し周波数: 200Hz (500Hz & 1kHz も可)
- 加工サイズ: 5µm〜2mm
-
分解能: 1.5µm
(UVFS/CAF2 光学系 NA 0,1) - 焦点範囲: 50mm (モーター制御)
- DMG 比率: 5 〜 15 (マニュアル)
- アッテネーション範囲: 5 〜 95%
位置決め
- 駆動範囲: 200x200mm
- 位置決め精度: 1µm
- 繰り返し精度: 2µm
- 絶対精度: <2µm with DMC校正
観察機構
- カラーカメラ
- TTL ビジョン (150-500X DMG)
オプション
- MRA モジュール
- スムースグルーブモジュール
- シータステージ
- 自動アライメント
- ホモジェナイザーモジュール