レーザー直描露光装置

Dilase250は、Dilaseシリーズのエントリーモデルとして開発されたコンパクトな卓上型レーザー直描露光装置です。375nmまたは405nmのUVレーザーを搭載し、4インチまでの基板サイズに対応します。2μmの最小スポット径と50ｍｍ/sのスキャン速度で微細なパターン露光を行う事ができます。