ルモニクスから引き継がれたICON (Integrated Ceramic on Nickel)テクノロジーにより、 IPEXシリーズは優れたガス寿命と高い光学安定性をもち、ハンディリモートコントローラーでレーザーオペレーション時のパラメーターを簡単に設定することができます。オペレーションが易しくメンテナンスがシンプルで経済的なIPEX-800シリーズは、トータルコストを最小限に抑えて、長期間の運転を可能としています。セラミックスのマーキングから微細加工まで、このレーザーの応用範囲は多岐にわたっています。
IPEX800シリーズでは不安定共振器を使用してビーム拡がり角を小さく押さえることにより、優れた集光スポット品質を得ることも出来ます。
exciPureTM(エキシピュア)テクノロジーとは
3つのアプローチによってガス寿命を著しく向上させ、ランニングコストを低減させました。
KrFおよびArFの動的および静的ガス寿命を5倍以上に
exciPureTMによるガス寿命の向上
動的寿命は最大平均出力で安定化モードを維持できるショット数です。
静的寿命はガスを注入して、最初の出力が初期値の80%を達成できた日数です。
以上のショット数はライトマシナリー社の典型的な操作条件によるものです
exciPureTM(エキシピュア)改善内容
1.ベッセル材料改善(IPEX800シリーズに採用済み) ・エキシマレーザーのガス寿命を向上させるため、ベッセル材料を改善。 ・ベッセル材料からのガスへの不純物の発生を低減。
2.ガスプロセッサ—搭載 ・内蔵された触媒カートリッジによってガス内に発生する不純物を除去。 ・液体窒素不要。
3.ハロゲンインジェクション ・微量インジェクションにより、インジェクション時の出力不安定を回避。 ・ハロゲンインジェクションによりガス寿命の延命化。
まとめ
・動的ガス寿命および静的ガス寿命が飛躍的に向上 IPEX840シリーズ(KrF) 動的寿命20Mショット→200Mショット 10倍
静的寿命10日→30日 3倍 ・ガスプロセッサーは触媒カートリッジ方式であるため、液体窒素不要。
・微量インジェクションにより出力安定。
Ipexシリーズ チューブ構造 特長
- ICONTMテクノロジー、オールメタル&セラミック採用
- チューブ構造:円形の対象同軸構造 温度変化による歪み(共振器の位置ずれ)なし フィードスルーが1ヶ所→高電圧リークの危険性が低い 発振ガスの循環がスムーズ、パルス安定性に優れている
- 外部冷却:内部の水熱交換器からの腐食および漏れの可能性なし
共振器保守について
IPEXシリーズでは、共振器メンテナンスが簡単!
EasyClean方式採用
光学ポートにゲートバルブが装備されており、バルブが閉まった状態で 共振器 のメンテナンスを行います。
- ガス充填はそのまま 共振器のメンテナンスの度にガス交換やパージの必要がなく、経済的
- ガス交換やパージの必要がないので、共振器のクリーニングや 交換は15分ほどで完了。
- 出力低下の原因となる空気や水分(水蒸気)がチューブ内に入らない
- ガス漏れの心配もなし
ライトマシナリー社独自の光学マウント(特許取得済み)
1.クリーニングや交換時に外しても、同じ位置に戻せます 2.クリーニングはホルダーつきのままで完了
共振器をホルダーから外さずにクリーニングできます。
ガスピューリファイヤー
静電濾過システム、exciPureにより、ガス不純物の高速除去 ガス寿命や光学部品のメンテ期間を延長
光学部品のクリーニング (例)200Hzで稼働させた場合
KrFなら100Mショットごと
XeClなら50Mショットごと
Beam Profile @ 800 M Pulses
Change from its original size <5% at 800 x 106 pulses. The output beam remains symmetrical
Divergence 0.72 x 3.2 mrad Pointing Stability < 160 rad エネルギーの分布が急峻、テール部分のエネルギーが少ない“
光学部品フロープロテクション
• ガスピューリファイヤーを採用しても、微量の飛散物は放電や電極か ら発生してしまいます。
• フローガイドが光学系付近のガスの流れをコントロールし、 飛散物付着を防ぎます。
エネルギーコントロール
独自の技術、 StabiLaseTM により、エネルギーの安定性をモニター
•StabiLaseが動後数秒以内に設定値にエネ ルギーをロックします。
•バーストモード、断続的な使用、また外部トリ ガモードでも動作します。
•ハロゲンガスを自動ブーストにより、常に最 適レベルでガス混合比を維持し、エネルギー の安定を図ります。
ミニコントローラー
- エネルギー、電力、トリガー機能を制御、表示 する
- エネルギー安定化(バーストモードでも)
- ゲートバルブ開閉操作(メンテナンス時)
- ガスおよびハロゲンブーストの自動補充
特長
- 新技術exciPure搭載でより長ガス寿命
- 24/7の長時間運転にも対応
- 最小限のトータルコスト
- 直観的なオペレーション
- シンプルなメンテナンス
応用
- 樹脂材料への微細加工
- LLO、アニーリング、表面改質、薄膜除去
- マーキング用途など
仕様
| 波長 | 193nm (ArF) | 248nm (KrF) | 308nm (XeCl) | 351nm (XeF) |
|---|---|---|---|---|
| 最大パルスエネルギー (mJ) IPEX-840 | 230 | 450 | 300 | 275 |
| 最大パルスエネルギー (mJ) IPEX-860 | 250 | 700 | 600 | 350 |
| 安定化パルスエネルギー(mJ) IPEX-840 | 150 | 400 | 250 | 225 |
| 安定化パルスエネルギー(mJ) IPEX-860 | 200 | 600 | 500 | 300 |
| 安定化最大出力 （W) | ||||
| IPEX-848 | 30 | 80 | 50 | 45 |
| IPEX-846 | 15 | 40 | 25 | 22 |
| IPEX-844 | 7.5 | 20 | 12 | 11 |
| IPEX-842 | 3.7 | 10 | 6 | 5.5 |
| IPEX-868 | 20 | 60 | 50 | 30 |
| IPEX-866 | 10 | 30 | 25 | 15 |
| IPEX-864 | 6 | 18 | 10 | 9 |
| IPEX-862 | 3 | 9 | 5 | 4.5 |
| 最大繰返周波数 （pps） | ||||
| IPEX-848 | 200 | 200 | 200 | 200 |
| IPEX-846 | 100 | 100 | 100 | 100 |
| IPEX-844 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| IPEX-842 | 25 | 25 | 25 | 25 |
| IPEX-868 | 100 | 100 | 100 | 100 |
| IPEX-866 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| IPEX-864 | 30 | 30 | 20 | 30 |
| IPEX-862 | 15 | 15 | 10 | 15 |
| ※上記仕様は全ての項目における最適値の仕様です。 ユーザーのご要望に合わせたカスタム仕様で提案をさせて頂きます。 ご希望の仕様を弊社営業部までお知らせください。 |
||||
- 840 シリーズ
- ビームサイズ (mm) 840 : 12 x 26
- ビーム拡がり角 (mrad) : 1 x 3
- 860 シリーズ
- (V x H, nominal) : 12 x 28
- (V x H, nominal) : 1.5 x 4
- 全シリーズ
- パルス幅 （ns) : 12～20
- パルス安定性（％）: 1（1σ、KrF)
- 本体寸法（mm）: L 1746 x W 864 x H 508
- 本体重量（kg）: 400