MicroMasterは、エキシマレーザー専用の微細加工装置です。
エキシマレーザーの紫外パルス光の特性を利用したマスク投影加工で、樹脂を中心とした材料や基板上の導電膜に深さをコントロールした非熱加工を高品質に行う事ができます。
小型のエキシマレーザーを内蔵してコンパクトな装置として限られた面積に設置できるほか、大型のエキシマレーザーを外置きにして同時多穴生産加工にも対応します。
好評のリアルタイムモニターを2画面で確認しながら加工状態の確認や調整を行う事ができます。
カテーテル、ポリマーステントの医療材加工、微細なレンズ/金型/流路/光導波路の製作、微小穴フィルター/ノズルの製作などの用途に使用されています。